组装光扫描装置的方法

摘要

组装光扫描装置的方法，能够精调镜面部分的扫描角度和谐振频率。该方法包括：在衬底保持件临时固定在基部件上的状态下，通过致动振动源测量镜面部分的扫描角度和谐振频率的步骤；在松开衬底保持件的临时固定状态之后，沿衬底的纵向方向移动衬底保持件的步骤；通过重复移动衬底保持件的步骤来精调衬底保持位置的步骤；以及在设置衬底保持位置之后固定衬底保持件的步骤。在组装光扫描装置时，在精调步骤和固定步骤中可改变设置在基部件上的衬底保持件的衬底保持位置而不改变镜面部分相对于基部件的位置。

主权项

一种组装光扫描装置的方法，所述光扫描装置包括：衬底，所述衬底具有开口部分；镜面部分，所述镜面部分位于所述衬底的所述开口部分内，所述镜面部分具有通过梁保持的侧部；以及振动源，所述振动源设置在所述衬底上，所述振动源使所述衬底弯曲以使用作枢转轴的所述梁上的所述镜面部分摆动，其中所述摆动的镜面部分反射照射光以进行扫描，其特征在于，分开地设置所述衬底、像悬臂梁一样保持所述衬底的纵向端之一的衬底保持件、以及可动地保持所述衬底保持件的基部件，所述方法包括：在所述衬底保持件临时固定在所述基部件上的状态下，通过致动所述振动源测量所述镜面部分的扫描角度和谐振频率的步骤；在松开所述衬底保持件的临时固定状态之后，沿所述衬底的纵向方向在所述基部件上移动所述衬底保持件的步骤；通过重复在松开所述衬底保持件的临时固定状态之后在所述基部件上沿所述衬底的纵向方向移动所述衬底保持件的所述步骤，来精调所述衬底保持件的衬底保持位置的步骤；以及在设置所述衬底保持位置之后，将所述衬底保持件固定在所述基部件上的步骤，以及在组装所述光扫描装置时，在所述精调步骤和所述固定步骤中可改变设置在所述基部件上的所述衬底保持件的所述衬底保持位置而不改变所述镜面部分相对于所述基部件的位置。