电容型MEMS陀螺仪及其制造方法

摘要

本发明提供一种电容型MEMS陀螺仪及其制造方法，其中陀螺仪包括半导体基板和复合轮：半导体基板包括读出电路、至少一个接触垫和至少一个底部电极；至少一个底部电极以旋转轴为中心设置在所述半导体基板上，分别与读出电路电连接；接触垫，形成在半导体基板上，与读出电路电连接；复合轮平行于半导体基板，以旋转轴为中心，悬空设置在半导体基板上；复合轮包括至少一个顶部电极和至少一个圆周形弹性臂；顶部电极设置在复合轮的下部，分别与底部电极在垂直方向上对应设置，与读出电路电连接；至少一个圆周形弹性臂与复合轮和半导体基板连接，包括顶部电极引导器件。本发明提供的陀螺仪，尺寸小，尺寸的误差范围小，灵敏度高，生产成本低。

主权项

一种电容型MEMS陀螺仪，其特征在于，包括半导体基板(100)和复合轮(200)：所述半导体基板(100)以旋转轴(20)为中心，包括读出电路(110)、至少一个接触垫(140)和至少一个底部电极(120)；所述至少一个底部电极(120)，设置在所述半导体基板(100)上，分别与所述读出电路(110)电连接；所述接触垫(140)，形成在所述半导体基板(100)上，与所述读出电路(110)电连接；复合轮(200)，部分地由绝缘薄膜制成，平行于所述半导体基板(100)，以所述旋转轴(20)为中心，悬空设置在所述半导体基板(100)上；所述复合轮(200)包括至少一个顶部电极(220)和至少一个圆周形弹性臂(250)；所述顶部电极(220)设置在所述复合轮(200)的下部，分别与所述底部电极(120)在垂直方向上对应设置，与所述读出电路(110)电连接；所述至少一个圆周形弹性臂(250)以所述旋转轴(20)为中心设置，一端与所述复合轮(200)连接，另一端与所述半导体基板(100)连接，包括至少一个顶部电极引导器件(260)，所述顶部电极引导器件(260)与所述半导体基板(100)上的接触垫(140)电连接。