| 发明名称 | 制造磁性隧道结器件的方法及用于制造磁性隧道结器件的设备 | ||
| 摘要 | 通过由势垒层形成步骤形成隧道势垒层来制造磁性隧道结器件的方法，包括：沉积第一金属层的步骤；在该第一金属层上形成氧表面活性剂层的氧表面活性剂层形成步骤；在第一氧表面活性剂层上方沉积第二金属层的步骤；以及通过氧化第一金属层和第二金属层以形成金属氧化物层的氧化步骤。 | ||
| 申请公布号 | CN101960629A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200980107496.X | 申请日期 | 2009.03.03 |
| 申请人 | 佳能安内华股份有限公司 | 发明人 | 崔永硕 |
| 分类号 | H01L43/12(2006.01)I;G11B5/39(2006.01)I;H01L21/316(2006.01)I;H01L21/8246(2006.01)I;H01L27/105(2006.01)I;H01L43/08(2006.01)I | 主分类号 | H01L43/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 李帆 |
| 主权项 | 一种制造磁性隧道结器件的方法，该方法包括形成隧道势垒层的势垒层形成步骤，该势垒层形成步骤包括：沉积第一金属层的步骤；氧表面活性剂层形成步骤：将第一金属层置于含有氧作为元素的气体的非等离子体气氛中，从而形成氧表面活性剂层，该氧表面活性剂层的氧吸附到第一金属层的表面；在第一氧表面活性剂层上方沉积第二金属层的步骤；以及氧化第一金属层和第二金属层以形成金属氧化物层的氧化步骤。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||