发明名称 凝胶压印制程
摘要 一种凝胶压印制程,至少包括下列步骤。首先,提供一模板,其中此模板之一表面具有至少一平面区以及至少一凹陷区,且平面区与凹陷区构成一压印图案。再对模板之上述表面进行一改质步骤,藉以使模板之最上层表面具有亲水性质。并提供一基材。接下来,形成一凝胶溶液层覆盖在基材之一表面上。接着,进行一压印步骤,使模板之上述表面与凝胶溶液层紧密贴合,藉以将模板之压印图案转移至凝胶溶液层中。
申请公布号 TW200631071 申请公布日期 2006.09.01
申请号 TW094105459 申请日期 2005.02.23
申请人 国立成功大学 发明人 锺宜璋;邱逸闳;洪昭南;洪敏雄
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 台南市东区大学路1号