发明名称 Differential waveguide probe
摘要 A wafer probe comprises a contact conductively interconnected with the wall of a waveguide channel and supported by a substrate that projects from an end of a waveguide channel.
申请公布号 US7876114(B2) 申请公布日期 2011.01.25
申请号 US20080221828 申请日期 2008.08.07
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人 CAMPBELL RICHARD L.;ANDREWS MICHAEL
分类号 G01R31/02;H01P1/00 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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