发明名称 FOCUSED ION BEAM APPARATUS USING OPENING FEATURE AND MACHINING METHOD USING THEREOF
摘要
申请公布号 KR101010924(B1) 申请公布日期 2011.01.25
申请号 KR20080063469 申请日期 2008.07.01
申请人 发明人
分类号 B23K15/08;B23K15/00;H01J37/30 主分类号 B23K15/08
代理机构 代理人
主权项
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