发明名称 玻璃基板边缘检查装置及其方法
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.01.21
申请号 TW096120343 申请日期 2007.06.06
申请人 K C 科技股份有限公司 发明人 白云泳;罗善福
分类号 G01N21/896 主分类号 G01N21/896
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种玻璃基板边缘检查装置,包含:移送部,用以沿某一方向移送玻璃基板;设在玻璃基板一表面两侧与玻璃基板保持相当于焦距的距离的固定式扫描模组,用以扫描处于移送状态的玻璃基板的两侧边缘;可沿玻璃基板的在移送方向上的前端边缘或后端边缘进行直线往返移动的移动式扫描模组,该移动式扫描模组在最初移动时,沿着处于停止状态的被移送前的玻璃基板的前端边缘进行扫描,该移动式扫描模组在返回时,沿着处于停止状态的被移送后的玻璃基板的后端边缘进行扫描;控制部,用于收集所述各扫描模组所扫描的图像并判断玻璃基板边缘是否存在缺陷。根据请求项1所述的玻璃基板边缘检查装置,所述移动式扫描模组包含:连接部件,用以连接设在玻璃基板一面与玻璃基板保持相当于焦距的距离的摄像部件和设在玻璃基板另一面与玻璃基板保持预定间距并与所述摄像部件相对而设置的照明部件;移动部件,用于使所述连接部件沿着玻璃基板的在移送方向上的端部边缘进行直线往返移动;与所述连接部件结合的旋转部件,该旋转部件以直线连接所述摄像部件和所述照明部件的假想线为旋转轴旋转所述连接部件。根据请求项2所述的玻璃基板边缘检查装置,所述移动式扫描模组还包含设在所述移动部件与所述旋转部件之间使所述旋转部件沿所述假想线进行升降的升降部件。根据请求项3所述的玻璃基板边缘检查装置,所述升降部件包含与所述旋转部件相结合而沿所述假想线进行升降的移动体及引导所述移动体升降并与所述移动部件相结合而沿着玻璃基板前后端边缘进行直线往返移动的主体。根据请求项4所述的玻璃基板边缘检查装置,所述移动部件包含与玻璃基板移送方向垂直设置的导轨及与所述升降部件的主体相结合沿所述导轨进行直线往返移动的滑块。一种利用请求项1所述的玻璃基板边缘检查装置的玻璃基板边缘检查方法,该方法通过判断对玻璃基板边缘进行线扫描而获得的图像来检查玻璃基板边缘是否存在缺陷,包含步骤:(a)移送玻璃基板使其前端边缘与移动式扫描模组的移动路径相一致;(b)所述移动式扫描模组沿着处于停止状态的玻璃基板前端边缘移动并进行扫描;(c)完成对玻璃基板前端边缘的扫描之后,移送玻璃基板使其后端边缘与所述移动式扫描模组的移动路径相一致,同时通过固定式扫描模组扫描移动的玻璃基板两侧边缘;(d)完成对玻璃基板两侧边缘的扫描之后,所述移动式扫描模组沿玻璃基板后端边缘返回并进行扫描。根据请求项6所述的玻璃基板边缘检查方法,其中在所述(d)步骤中,所述移动式扫描模组在旋转180度之后再返回,以防止与玻璃基板后端边缘发生碰撞。根据请求项6或7所述的玻璃基板边缘检查方法,其中在所述(d)步骤中,所述移动式扫描模组在对应所述玻璃基板卸载高度进行升降之后再返回。
地址 南韩