红外线感测器及其制造方法

主权项

一种红外线感测器之制造方法，其特征乃具备：于构成预定形成在半导体基板上之薄膜体局部之薄膜上，形成红外线检测部之步骤；以在形成有前述红外线检测部之前述薄膜下侧形成中空部的方式，形成薄膜构造之步骤；于前述半导体基板与红外线透过基板之间，在前述半导体基板或前述红外线透过基板之至少一方，局部性形成赋予空间之黏着层之后，经由该黏着层在前述半导体基板贴合前述红外线透过基板之步骤；及从前述半导体基板之与前述红外线透过基板相反侧，在前述半导体基板形成贯通孔之步骤；前述贯通孔系设置于面对于前述黏着层位置。如申请专利范围第1项所记载之红外线感测器之制造方法，其中当形成复数之红外线感测器时，于形成前述贯通孔之后，在前述红外线感测器间之切割线上切断，分离为各个之红外线感测器。