| 主权项 |
一种自一工件中切割出多片晶圆的方法，该工件具有一纵轴及一横截面，且固定于一工作台上，以垂直于在该工作台与一线锯之线排间之该工件纵轴之方向上的相对移动、且以一通过线排之变化的向前进给速度(forward feed rate)加以给进，该线排系由以有效速率移动之锯线所形成，该锯线的有效速率系控制作为该向前进给速度及该工件横截面的函数，以达到该锯线的均匀损耗。如请求项1所述之方法，其中该锯线的有效速率系设定为该锯线进入至该工件中之啮合长度的函数。如请求项1所述之方法，其中该锯线的有效速率系调节使该有效线速率与该啮合长度成比例关系。如请求项1所述之方法，其中该锯线的有效速率系调节使该有效锯线速率与该工作台向前进给速度及该啮合长度的乘积成比例关系。如请求项1所述之方法，其中该锯线的有效速率系调节使该有效锯线速率与施用力成比例关系。如请求项1至5中任一项所述之方法，其中该锯线系于一锯切过程结束后用于另一锯切过程。如请求项6所述之方法，其中该锯线系多次使用。如请求项6所述之方法，其中该晶圆藉由使用一浆料加以切割。如请求项6所述之方法，其中该锯线经由入口线轴展开且环绕着导轮进给，以形成该线排，且最后卷绕于出口线轴上，该入口线轴及该出口线轴在第二锯切过程之前彼此交换。如请求项6所述之方法，其中该锯线在第二锯切过程中，相对于第一锯切过程，沿另一方向有效地移动。如请求项9所述之方法，其中该锯线在首次使用前具有一黄铜层，其影响为在第一锯切过程后，容纳浆料之容器被铜原子污染，以未污染之浆料容器进一步替换被污染之浆料容器以用于第二锯切过程，且在第二锯切过程中不会发生第二浆料容器的污染。如请求项10所述之方法，其中该锯线在首次使用前具有一黄铜层，其影响为在第一锯切过程后，容纳浆料之容器被铜原子污染，以未污染之浆料容器进一步替换被污染之浆料容器以用于第二锯切过程，且在第二锯切过程中不会发生第二浆料容器的污染。 |
