处理液供给装置

主权项

一种处理液供给装置，属于具有处理液储存槽，及供给处理液的泵，及吐出处理液的喷嘴的处理液供给装置，其特征为：上述处理液供给装置是具备为了定量化来自上述喷嘴的处理液的吐出量，在分配的导通/断开实行时，可累计从导通初期吐出时所吐出的处理液吐出量的流量累计的流量计，该流量计是具有藉由来自喷嘴的吐出量而将泵的转速予以可变的反馈系统，该反馈系统是藉由伺服电动机控制进行泵上昇时的流量控制之际，一直到既定时间使用PID固定数控制，之后控制伺服电动机的转速令累计流量成为一定，控制吐出时的泵转速时，在上昇、一定速度、下降时，认识及计数一定速度的瞬时流量与所有吐出量的累计量，上述流量计是电磁式、超音波式、旋转式的任一种。如申请专利范围第1项所述的处理液供给装置，其中，上述反馈系统是在槽与喷嘴之间设置过滤器，在上述过滤器通过处理液时的阻力予以变动而分配量有变动时，并用可自动认识过滤器等的更换时期的系统。