发明名称 Trägerloses Handhabungssystem
摘要 Die Erfindung betrifft das Gebiet der Transportsysteme im Bereich der Behandlung von Gegenständen insbesondere in Gegenwart chemisch aggressiver Medien und/oder unter Rein- oder Reinstraumbedingungen und damit insbesondere das Problem einer Kontamination des Prozessraums mit unerwünschten Partikeln, wie sie sich durch in den Prozessraum hineinragende bewegte Teile oder durch die Wartung des in derartigen Anlagen gewöhnlich vorhandenen Transportsystems ergeben kann. Eine erfindungsgemäße Behandlungsanlage (1) umfasst einen Prozessraum (2) zur Behandlung von Gegenständen (4), wobei der Prozessraum (2) mindestens einen Behandlungsraum (5) zur Aufnahme eines Behandlungsmediums umfasst. Die Behandlungsanlage umfasst ferner ein Transportsystem (6) zur trägerlosen unmittelbaren Handhabung der lose vorliegenden Gegenstände (4) innerhalb der oder zwischen mehreren Behandlungsanlagen, wobei das Transportsystem mindestens einen Greifmechanismus (7) zum Greifen der Gegenstände und mindestens einen Antrieb (9) mit bewegten Teilen und/oder Lagern zum Bewegen und Betätigen des Greifmechanismus' (7) umfasst. Zur Vermeidung einer Kontamination des Prozessraums (2) mit Partikeln sind mindestens alle bewegten Teile und/oder Lager des Antriebs (9) des Transportsystems (6) ausschließlich in einem vom Prozessraum (2) getrennten Antriebsraum (10) angeordnet.
申请公布号 DE102009033586(A1) 申请公布日期 2011.01.20
申请号 DE200910033586 申请日期 2009.07.16
申请人 RENA GMBH 发明人 KALTENBACH, KONRAD;SCHWAB, MARIO;MUELLER, KERSTIN;ZANGER, LUKAS;KUEFNER, THORSTEN
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
地址