MICROMIRROR ARRANGEMENT HAVING A COATING AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF

摘要

Die Erfindung betrifft eine Mikrospiegelanordnung (1), umfassend: mindestens einen Mikrospiegel (3) mit einer reflektierenden Oberfläche (11), die an einem Spiegelsubstrat (2) gebildet ist, sowie eine Anti-Reflexbeschichtung (7), die an dem Spiegelsubstrat (2) außerhalb der reflektierenden Oberfläche (11) gebildet ist. Eine reflektierende Beschichtung (8) ist innerhalb der reflektierenden Oberfläche (11) gebildet und weist wenigstens zwei Schichtteilsysteme auf, wobei das erste Schichtteilsystem Schichten (8e, 8f) aus einer periodischen Abfolge alternierender hoch und niedrig brechender Schichten aus einem nicht-metallischen Material aufweist und bezüglich einer Nutzwellenlänge der Mikrospiegelanordnung im Hinblick auf die Reflektivität optimiert ist und wobei das zweite Schichtteilsystem bezüglich einer von der Nutzwellenlänge abweichenden Messwellenlänge der Mikrospiegelanordnung im Hinblick auf die Reflektivität optimiert ist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung, wobei die Beschichtung eine reflektierende Beschichtung (8) und eine Anti-Reflexbeschichtung (7) umfasst. Die Anti-Reflexbeschichtung (7) kann hierbei insbesondere zur Kompensation der Schichtspannung einer reflektierenden Beschichtung (8) dienen.