| 摘要 |
<p>Die Erfindung offenbart das Verfahren der Mikrostrukturierung zur Verbesserung bekannter Polierverfahren und Poliervorrichtungen zur Korrektur von geometrischen Abweichungsfehlern auf Präzisionsoberflächen. Zur Ermittlung der Mikrostruktur zwecks Verbesserung eines auf eine Werkstückoberfläche anzuwendenden Polierverfahrens wird zunächst eine Oberflächenabweichung einer Werkstückoberfläche von einer gewünschten Zielgeometrie ermittelt. Anschließend wird die auf die Werkstückoberfläche aufzuprägende Mikrostruktur ermittelt, wobei die Mikrostruktur eine kurzwelligere Oberflächenstruktur aufweist als die ursprüngliche Werkstückoberfläche und so gewählt wird, dass langwellige Abweichungen der Werkstückoberfläche von der Zielgeometrie kompensiert werden, so dass nach einem Aufprägen der ermittelten Mikrostruktur auf die Werkstückoberfläche in einem anschließend durchführbaren Polierverfahren bessere Polierergebnisse und/oder kürzere Polierzeiten erzielbar sind. Die Oberflächengeometrie einer Werkstückoberfläche nach einem Polierverfahren kann dabei beispielsweise anhand eines Prozessmodelles errechnet werden.</p> |
