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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DÜNNER SCHICHTEN, DIE MIKROKOMPONENTEN ENTHALTEN
摘要
申请公布号
DE60238548(D1)
申请公布日期
2011.01.20
申请号
DE20026038548
申请日期
2002.10.08
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES;S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES
发明人
ASPAR, BERNARD;LAGAHE, CHRYSTELLE;GHYSELEN, BRUNO
分类号
H01L21/265;H01L21/762;H01L21/02;H01L27/12
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
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