| 主权项 |
1.一种光学可调滤波器,包含: 具有透光性的第一基板,该第一基板包含活动部、 经过预定间隔而设置在该活动部之周围的电流载 运部、及设置在该活动部与该电流载运部之间的 支撑部,用以相对于该电流载运部而连接该活动部 ,及用以相对于该电流载运部而弹性地支撑该活动 部,该电流载运部适于将电流经由该等支撑部而供 应至该活动部,其中,该活动部、该等支撑部和该 电流载运部系经由蚀刻法而整体形成自相同的材 料,而使得该电流载运部和该活动部实质上具有相 同的厚度; 具有透光性的第二基板,该第二基板被设置而与该 第一基板对立; 第一间隙和第二间隙,分别被设置在该活动部与该 第二基板之间; 干涉部,系经由该第二间隙而在该活动部与该第二 基板之间造成入射光的干涉; 第一反射膜,系设置在该活动部之界定该第二间隙 的表面上,及第二反射膜,系设置在该第二基板之 面对该活动部且界定该第二间隙的表面上;以及 驱动部,藉由使用该第一间隙而相对于该第二基板 来位移该活动部以改变该第二间隙的距离,该驱动 部包括设置在该第二基板上之驱动电极,以提供在 该驱动电极与该活动部之间的该第一间隙,使得当 施加电压于该活动部与该驱动电极之间时,该活动 部系藉由其间所产生之库伦力(Coulomb force)而可上 下移动。 2.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 该第二基板具有面对该活动部的表面,其中,该第 二基板的该表面系形成有对应于该第一间隙的第 一凹部和对应于该第二间隙的第二凹部,且该第二 凹部被形成得比该第一凹部还深。 3.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 该第一凹部系设置在该第二凹部的周围,以便连着 该第二凹部。 4.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 该第一间隙和该第二间隙系藉由蚀刻法来予以形 成的。 5.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 该第一基板系由矽所制成的。 6.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 该活动部从平面上来看具有实质为圆形的形状。 7.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 该第二基板系由玻璃所制成的。 8.如申请专利范围第7项的光学可调滤波器,其中, 该玻璃含有硷金属。 9.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 该第一反射膜和该第二反射膜系各自由多层膜所 形成的。 10.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 该第一反射膜具有绝缘性。 11.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 抗反射膜系设置在该活动部之另一表面和该第二 基板之另一表面的至少其中一者上。 12.如申请专利范围第11项的光学可调滤波器,其中, 该抗反射膜系由多层膜所形成的。 13.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 该第二基板包含光经其而进入及/或自其发出的透 光部,该透光部系设置在该第二基板的另一表面上 。 14.一种光学可调滤波器的制造方法,其中,该光学 可调滤波器包含: 具有透光性的第一基板,该第一基板包含活动部、 经过预定间隔而设置在该活动部之周围的电流载 运部、及设置在该活动部与该电流载运部之间的 支撑部,用以相对于该电流载运部而连接该活动部 ,及用以相对于该电流载运部而弹性地支撑该活动 部,该电流载运部适于将电流经由该等支撑部而供 应至该活动部; 具有透光性的第二基板,该第二基板被设置而与该 第一基板对立; 第一间隙和第二间隙,分别被设置在该第一基板的 该活动部与该第二基板之间; 干涉部,系经由该第二间隙而在该活动部与该第二 基板之间造成入射光的干涉; 第一反射膜,系设置在该活动部之界定该第二间隙 的表面上,及第二反射膜,系设置在该第二基板之 面对该活动部且界定该第二间隙的表面上;以及 驱动部,藉由使用该第一间隙而相对于该第二基板 来位移该活动部以改变该第二间隙的距离,该驱动 部包括设置在该第二基板上之驱动电极,以提供在 该驱动电极与该活动部之间的该第一间隙,使得当 施加电压于该活动部与该驱动电极之间时,该活动 部系藉由其间所产生之库伦力(Coulomb force)而可上 下移动; 其中,该制造方法的特征在于该第一基板之该活动 部、该等支撑部和该电流载运部系经由蚀刻法而 整体形成自相同的材料,使得该电流载运部和该活 动部实质上具有相同的厚度,且该第一间隙和该第 二间隙亦系藉由蚀刻法来予以形成的。 15.如申请专利范围第14项之光学可调滤波器的制 造方法,其中,当没有施加电压时,该电流载运部和 该活动部系位于相同的水平面上。 16.如申请专利范围第1项的光学可调滤波器,其中, 当没有施加电压时,该电流载运部和该活动部系位 于相同的水平面上。 图式简单说明: 图1是剖面图,显示本发明之光学可调滤波器的实 施例。 图2是平面图,显示本发明之光学可调滤波器的实 施例。 图3是步骤图,显示本发明之制造光学可调滤波器 的方法。 图4是步骤图,显示本发明之制造光学可调滤波器 的方法(接自图3)。 图5是步骤图,显示本发明之制造光学可调滤波器 的方法(接自图4)。 图6是步骤图,显示本发明之制造光学可调滤波器 的方法(接自图5)。 图7是剖面图,显示本发明之光学可调滤波器作业 的一实例。 图8是剖面图,显示在本发明之光学可调滤波器的 实施例设有线的光学可调滤波器。 |
