发明名称 Pipe Sputtering System
摘要
申请公布号 KR100784054(B1) 申请公布日期 2007.12.10
申请号 KR20040090090 申请日期 2004.11.06
申请人 发明人
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址