发明名称 Verfahren zur Herstellung von relaxierten Schichten
摘要
申请公布号 DE602006018696(D1) 申请公布日期 2011.01.20
申请号 DE200660018696T 申请日期 2006.10.27
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 DAVAL, NICOLAS;CHAHRA, ZOHRA;LARDERET, ROMAIN
分类号 H01L21/20;C30B33/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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