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发明名称
Verfahren zur Herstellung von relaxierten Schichten
摘要
申请公布号
DE602006018696(D1)
申请公布日期
2011.01.20
申请号
DE200660018696T
申请日期
2006.10.27
申请人
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES
发明人
DAVAL, NICOLAS;CHAHRA, ZOHRA;LARDERET, ROMAIN
分类号
H01L21/20;C30B33/00
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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