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发明名称 APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20110000608(U) 申请公布日期 2011.01.20
申请号 KR20090009066U 申请日期 2009.07.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/02 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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