发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Befördern und Drehen stossempfinglicher Platten in Reinsträumen
摘要
申请公布号 DE112009000937(A5) 申请公布日期 2011.01.20
申请号 DE200911000937T 申请日期 2009.02.18
申请人 GRENZEBACH MASCHINENBAU GMBH 发明人 FRANZ, ROLAND
分类号 H01L21/677;H01L31/18 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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