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发明名称
Technik zur Erhöhung der Prozessflexibilität während der Herstellung von Kontaktdurchführungen und Gräben in Zwischenschichtdielektrika mit kleinemε
摘要
申请公布号
DE102005004409(B4)
申请公布日期
2011.01.20
申请号
DE200510004409
申请日期
2005.01.31
申请人
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
发明人
WERNER, THOMAS;SCHALLER, MATTHIAS;AMINPUR, MASSUD
分类号
H01L21/311;H01L21/283
主分类号
H01L21/311
代理机构
代理人
主权项
地址
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