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发明名称 SUBSTRATE SUCTION DEVICE, SCRIVING APPARATUS HAVING THE SAME AND SUBSTRATE SUCTION METHOD
摘要
申请公布号 KR101009045(B1) 申请公布日期 2011.01.19
申请号 KR20080115285 申请日期 2008.11.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;H01L21/78 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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