深紫外全球面光刻物镜

摘要

本发明涉及一种深紫外全球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明提出了一种照明系统工作波长为193nm，数值孔径达到0.75的深紫外光刻物镜，该物镜结构紧凑、大视场、成像质量优良，各镜片全部使用球面，降低了加工难度；包括前后透镜组，共使用29片全球面透镜；透镜材料使用熔石英和氟化钙，其中，氟化钙的作用为校正色差。系统双方远心，具有极高的远心度。各个透镜元件的半径、厚度间距在优化中进行改变以更好的补偿像差并得到良好的结构参数，最终像质畸变小于1nm，波像差小于3nm。本发明可以应用于照明光源波长为193nm的深紫外投影光刻装置中。

主权项

深紫外全球面光刻物镜，其特征在于：全部29个透镜为球面；包括前后透镜组，其中：前透镜组包括第一弯月透镜、第一负透镜、第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜、第二弯月透镜、第四正透镜、第二负透镜、第三负透镜、第四负透镜、第三弯月透镜、第四弯月透镜、第五正透镜、第六正透镜、第七正透镜、第五弯月透镜、第六弯月透镜、第五负透镜、第七弯月透镜、第八弯月透镜；以上透镜顺次排列，各透镜同光轴，用透镜外框上的机械组件固定它们之间的相对位置；后透镜组包括第八正透镜、第九正透镜、第九弯月透镜，第十正透镜、第十一正透镜、第十弯月透镜、第十一弯月透镜、第六负透镜、第十二正透镜；以上透镜顺次排列，各透镜同光轴，用透镜外框上的机械组件固定它们之间的相对位置；前后透镜组通过透镜外框上的机械组件按一定间距固定连接在一起，两个透镜组同光轴；以上各透镜的具体参数如下：  半径  间距  玻璃标号  物面  ∞  65.9453  1  ‑387.2086  12.0000  SIO2  2  ‑202.9252  4.4211  3  ‑152.0877  12.0000  SIO2  4  291.6500  18.6442  5  891.4416  24.0371  SIO2  6  ‑264.2665  1.0000  7  486.4638  27.4985  SIO2  8  ‑359.2186  1.0000  9  347.1473  30.6295  SIO2  10  ‑395.7689  1.0000  11  203.7262  28.6092  SIO2  12  107.5405  31.0742  13  707.5963  49.1678  SIO2  14  ‑171.5584  4.4808  15  ‑165.8708  12.0000  SIO2  16  205.3550  15.1743  17  ‑421.9090  12.0000  SIO2  18  236.3269  19.8706  19  ‑216.4488  12.0000  SIO2  20  2529.0731  14.0188  21  ‑216.4198  23.6388  SIO2  22  ‑803.9345  8.3512  23  ‑317.2219  40.2406  SIO2  24  ‑218.7415  1.0000  25  7488.9815  33.1122  SIO2  26  ‑294.6667  1.0000  27  1341.3925  30.4613  SIO2  28  ‑483.5234  1.0000  29  230.3291  54.9307  CAF2  30  ‑1909.7868  1.0000  31  242.1401  54.3873  SIO2  32  128.8974  11.8358  33  127.8846  23.2957  SIO2  34  154.8368  44.1832  35  ‑245.1817  12.0000  SIO2  36  195.1257  45.7121  37  ‑160.6086  12.0000  SIO2  38  ‑593.9618  7.9905  39  ‑304.9760  47.0357  CAF2  40  ‑194.2195  1.0000  STO  INFINITY  1.0000  42  2995.2699  37.3711  CAF2  43  ‑277.2928  1.0000  44  325.0650  37.6408  CAF2  45  ‑1585.0227  22.2691  46  ‑321.0058  55.0000  SIO2  47  ‑485.7897  18.6282  48  1313.4355  12.5457  SIO2  49  ‑64498.9496  1.0000  50  235.8757  55.0000  CAF2  51  ‑3547.8270  5.0127  52  174.4485  40.8664  CAF2  53  406.2570  1.9338  54  154.5233  28.1878  CAF2  55  478.0642  9.1618  56  12060.2709  55.0000  SIO2  57  499.5050  1.7994  58  1188.4547  55.0000  SIO2  59  ‑2194.9576  10.8365  像面  ∞  0.0000