具有冷却遮板的溅镀装置

摘要

本实用新型提供一种具有冷却遮板的溅镀装置，包括一真空腔体，具有一抽真空出口及一气体入口，抽真空出口用以将真空腔体内部的气体抽出以保持真空状态，而气体入口用以输入一工作气体。真空腔体中配置有：一金属靶材，连接于一高压电源的阴极端；一载具，与金属靶材保持一预定间距且连接于高压电源的阳极端，载具可置放一欲进行溅镀的标的工件；溅镀装置更包括有一冷却遮板，冷却遮板连接于一冷却水路系统，且冷却遮板邻近于金属靶材并保持一预定距离，且与金属靶材及载具间的垂直方向夹有一预定角度。

主权项

一种具有冷却遮板的溅镀装置，包括一真空腔体，具有一抽真空出口及一气体入口，该抽真空出口用以将该真空腔体内部的气体抽出以保持真空状态，而该气体入口用以输入一工作气体，该真空腔体中配置有：一金属靶材，连接于一高压电源的阴极端；一载具，与该金属靶材保持一预定间距且连接于该高压电源的阳极端，该载具能够置放一欲进行溅镀的标的工件；其特征在于，该溅镀装置包括有一冷却遮板，该冷却遮板连接于一冷却水路系统，且该冷却遮板邻近于该金属靶材并保持一预定距离，且与该金属靶材及该载具间的垂直方向夹有一预定角度。