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发明名称 Apparatus and method for manufacturing poly-si thin film
摘要
申请公布号 KR101009431(B1) 申请公布日期 2011.01.19
申请号 KR20080099252 申请日期 2008.10.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L29/786 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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