发明名称
摘要
申请公布号 JP4613382(B2) 申请公布日期 2011.01.19
申请号 JP20000051617 申请日期 2000.02.28
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;H01L21/22;H01L21/225 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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