用于制造具有表面钝化介电双层的太阳能电池的方法以及对应的太阳能电池

摘要

说明了一种具有介电双层的太阳能电池以及用于制造该太阳能电池的方法。通过原子层沉积生产包含氧化铝或由氧化铝组成的第一介电层(3)和含氢的第二介电层(5)，使得能够实现太阳能电池表面的非常好的钝化。

主权项

一种用于制造硅太阳能电池的方法，包括以下步骤：提供硅衬底(1)；通过原子层沉积在硅衬底的表面上沉积第一介电层(3)，其中所述第一介电层包括氧化铝；以及在所述第一介电层(3)的表面上沉积第二介电层(5)，所述第一介电层和所述第二介电层的材料不同，且所述第二介电层中被嵌入氢。