| 发明名称 | 感光性树脂层压体 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种感光性树脂层压体，其对于多晶硅、非晶硅、铜、钼、铬、钨等各种基材具有优异的分辨率和密合性，具有良好的显影性，蚀刻性和剥离性优异。本发明的感光性树脂层压体的特征在于，其为至少依次层压：支撑层；选自下述(a)～(c)∶(a)脱模层、(b)碱可溶性树脂层、(c)水溶性树脂层所示的层中的至少一个层；由感光性树脂组合物构成的感光性树脂层而成的感光性树脂层压体，该感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱可溶性树脂20～90质量％、光产酸剂0.01～5质量％、具有通过酸的作用而交联的基团的化合物1～40质量％、增塑剂1～40质量％。 | ||
| 申请公布号 | CN101952778A | 申请公布日期 | 2011.01.19 |
| 申请号 | CN200980102862.2 | 申请日期 | 2009.01.23 |
| 申请人 | 旭化成电子材料株式会社 | 发明人 | 小谷雄三 |
| 分类号 | G03F7/038(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/11(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/038(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种感光性树脂层压体，其特征在于，其为至少依次层压：支撑层；选自下述(a)～(c)：(a)脱模层、(b)碱可溶性树脂层、(c)水溶性树脂层所示的层中的至少一个层；由感光性树脂组合物构成的感光性树脂层而成的感光性树脂层压体，其中，该感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱可溶性树脂20～90质量％、光产酸剂0.01～5质量％、具有通过酸的作用而交联的基团的化合物1～40质量％、增塑剂1～40质量％。 | ||
| 地址 | 东京都 | ||