非晶态合金模具的制备方法及其在微流槽成形中的应用

摘要

本发明公开了一种非晶态合金模具的制备方法，通过该方法制备的非晶态合金模具用以热压成形微流槽，其特征在于，该方法具体包括如下步骤：(1)硅模制备(2)非晶态合金样品制备(3)在夹具体中依次放置垫片、硅模、非晶态合金样品和压头垫片；(4)非晶态合金模具精密复制成形(5)冷却脱模。本发明还公开了一种利用上述方法制备的非晶态合金模具进行高聚物微流槽成形的方法，该方法包括如下步骤：(1)高聚物样品准备(2)热压成形高聚物微流槽(3)冷却脱模。本发明可以通过调整硅模及夹具体的尺寸，实现非晶态合金模具与高聚物微流槽的快速、批量生产，从而提高加工效率，缩短制造周期，降低制造成本。

主权项

一种非晶态合金模具的制备方法，通过该方法制备的非晶态合金模具用以成形微流槽，其特征在于，该方法具体包括如下步骤：(1)硅模制备采用深反应离子蚀刻技术，在硅片上蚀刻出带有凹形通道的微流槽阴母模，并根据单个或批量生产需要切割出含有一个或多个微流槽阴母模的硅模。(2)非晶态合金样品制备将非晶态合金的金属原料按照一定原子比进行配比，然后在真空条件下熔炼，再采用铜模吸铸法制备出一定尺寸的非晶态合金样品。(3)在夹具体中依次放置垫片、硅模、非晶态合金样品和压头垫片；(4)非晶态合金模具的热压成形将电子力学实验机升温至设定温度，待设备稳定后，将放置好样品的夹具放入测试平台进行热压。(5)冷却脱模热压结束后，将连接在一起的硅模及非晶态合金模具试样取出并冷却，再放入碱性溶液中，待硅模完全溶解后，得到含有一个或多个微流槽阳模的非晶态合金模具。