永久磁体的制造方法和永久磁体

摘要

本发明提供了一种永久磁体的制造方法，该方法适合于大批量、低成本地制造具有有效提高或恢复矫顽力等磁性能，并且具有耐蚀性和耐候性的永久磁体。将铁-硼-稀土类的烧结磁体和含Dy、Tb中的至少一种的金属蒸发材料设置在处理室内，进行加热蒸发，在金属蒸发材料蒸发过程中向设置了烧结磁体的处理室内导入惰性气体，控制惰性气体的分压从而调节蒸发的金属原子向烧结磁体表面的供给量，使金属原子附着，在形成由附着的金属原子构成的薄膜之前，使金属原子扩散到烧结磁体的晶界和/或晶界相中。接下来，向设置烧结磁体的处理室内导入冷却气体，在冷却处理室的过程中向处理室内导入反应气体，由反应膜覆盖烧结磁体表面，并成为固定状态。

主权项

一种永久磁体的制造方法，其特征在于，包括：第1工序，在处理室内设置铁‑硼‑稀土类烧结磁体并进行加热，同时使设置在同一个或其他处理室内的含Dy、Tb中至少一个的金属蒸发材料蒸发，在所述金属蒸发材料蒸发过程中向设置了所述烧结磁体的处理室内导入惰性气体，控制所述惰性气体的分压以调节蒸发的金属原子向烧结磁体表面的供给量，使金属原子附着，在形成由所述附着的金属原子形成的薄膜之前使所述金属原子扩散到烧结磁体的晶界和/或晶界相中；和第2工序，在向设置所述烧结磁体的处理室内导入冷却气体冷却所述处理室过程中，向所述处理室导入反应气体，由反应膜覆盖烧结磁体的表面以并成为固定状态。