设计具有预期柔度特性的探针卡设备的方法

摘要

一种探针卡设备配置成具有所需总量的柔度。该探针卡设备的探针的柔度被确定，且附加、预定量的柔度被设计到探针卡设备中，从而使附加柔度与探针柔度之和总计达探针卡设备所需的总柔度。

主权项

一种具有预选量的总柔度的探针卡设备，所述探针卡设备包括：多个探针，所述多个探针具有第一量的柔度，所述第一量的柔度响应于施加在所述多个探针的力；以及具有柔度的装置，用于在所述探针卡设备内提供选定附加量的柔度，所述附加量的柔度响应于施加在所述多个探针的所述力，其中，通过总柔度和第一量的柔度确定所述具有柔度的装置的附加量的柔度，使得所述附加量的柔度与第一量的柔度之和为所述预选量的总柔度。