平板显示器制造设备的起模针模块

摘要

本发明提供一种起模针模块，为了防止工艺气体在工艺过程中通过起模针孔渗入，引发异常放电的现象，该起模针模块具备起模针，该起模针紧贴着位于下部电极的起模针孔，该起模针模块包括针外壳，针外壳插入形成于下部电极上的插入孔中，起模针穿过形成在针外壳上的通道上下运动以支撑基板，并且，针外壳具有形成在所述针外壳的外柱面上的第一凹槽，该第一凹槽连通插入孔的入口与插入孔的出口，并且流体通过该第一凹槽从入口流到出口。

主权项

一种基板处理装置，包括：下部电极，基板置于其上；以及起模针模块，支撑置于所述下部电极上的所述基板，其中所述起模针模块包括针外壳，所述针外壳插入形成于所述下部电极上的插入孔中，起模针穿过形成在针外壳上的通道上下运动以支撑所述基板，并且其中，所述针外壳具有形成在所述针外壳的外柱面上的第一凹槽，所述第一凹槽连通所述插入孔的入口与所述插入孔的出口，并且流体通过所述第一凹槽从所述入口流到所述出口。