微机电系统和有源电路的集成

摘要

本发明公开了一种单个集成晶片封装，包括微机电系统晶片、有源器件晶片、和密封环。微机电系统晶片具有第一表面并在其第一表面上包括至少一个微机电系统部件。有源器件晶片具有第一表面并在其第一表面上包括有源器件电路。密封环与微机电系统晶片的第一表面相邻使得围绕微机电系统部件形成密封。在晶片封装上设置外部触头。外部触头可从外部访问晶片封装且电耦合到微机电系统器件或有源器件晶片的有源器件电路。

主权项

一种单个集成晶片封装，包括：具有至少一个微机电系统部件的微机电系统晶片；具有有源器件电路的有源器件晶片；夹在所述微机电系统晶片和所述有源器件晶片两者之间，使得围绕所述微机电系统部件形成密封室的密封环；和形成于所述有源器件晶片上的、到所述晶片封装的外部触头，其中所述外部触头可从外部访问所述晶片封装且电耦合到所述有源器件晶片的所述有源器件电路；形成于所述微机电系统晶片上的第二外部触头，所述第二外部触头提供从所述微机电系统部件到外部器件的电连接，所述微机电系统晶片具有局部锯口，使得所述外部触头能够作为侧部互连而被访问。