发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR PRODUCING GROUP-III NITRIDE
摘要
申请公布号 EP2123801(A4) 申请公布日期 2011.01.19
申请号 EP20070792325 申请日期 2007.08.03
申请人 TOKUYAMA CORPORATION 发明人 NAGASHIMA, TORU;TAKADA, KAZUYA;YANAGI, HIROYUKI;HARADA, MANABU;HIRATA, YASUNORI;KONDO, KEISUKE
分类号 C30B29/38;C23C16/34;C23C16/455;C30B25/14;C30B25/16;H01L21/205 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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