用于提高电子器件测试系统的工作频率的方法和装置

摘要

测试系统包括端接于探针中的通信信道，该探针接触待测电子器件的输入端。电阻器连接在探针附近的通信信道与接地之间。该电阻器可减小该端的输入阻抗，由此可减小输入端的上升时间和下降时间。信道可以端接在具有多个路径的分支中，其中各个路径是由用于接触待测电子器件各端的探针来端接的。这些分支中包括隔离电阻器，用于防止一个输入端的故障传播到其它输入端。各分支中都设有分流电阻器，用于减小该端的输入阻抗，由此减小输入端的上升时间和下降时间。还可以调整分流电阻器的大小，以减少、最小化或者消除通过该信道所返回的信号反射。

主权项

一种在测试机与待测电子器件之间交互测试信号的装置，所述装置包括：结构；多个信道端子，所述信道端子设置在所述结构上并且被配置成与来自所述测试机的通信信道电连接；多个探针，所述探针设置在所述结构上并且被配置成接触所述电子器件的测试特征；多个驱动信道，所述驱动信道将一些信道端子与一些探针连接起来；以及多个分流电阻器，所述分流电阻器设置在所述结构上，每个所述分流电阻器直接连接到所述驱动信道之一，其中所述驱动信道中至少一个包括多个分支，每个所述分支电连接到所述信道端子之一，每个所述分支端接在所述探针的不同的一个，每个所述分支包括设置在所述信道端子和所述分支端接在其中的探针之间的分支中的隔离电阻器，以及每个所述分支通过所述分流电阻器之一从设置在所述分支中的所述隔离电阻器和所述分支端接在其中的所述探针之间电连接到接地。