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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING A SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP1713117(B1) 申请公布日期 2011.01.19
申请号 EP20050709466 申请日期 2005.01.28
申请人 PANASONIC CORPORATION 发明人 TAKAHASHI, KUNIMASA;KITABATAKE, MAKOTO;YAMASHITA, KENYA;UCHIDA, MASAO;KUSUMOTO, OSAMU;MIYANAGA, RYOKO
分类号 H01L21/265;H01L21/04;H01L21/28;H01L21/338;H01L29/78;H01L29/812 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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