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发明名称 METHOD FOR STABILIZING OXIDE-SEMICONDUCTOR INTERFACE BY USING GROUP 5 ELEMENT AND STABILIZED SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 EP1237183(B1) 申请公布日期 2011.01.19
申请号 EP20000974913 申请日期 2000.11.10
申请人 NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE 发明人 CHIKYO, TOYOHIRO;YOSHIMOTO, MAMORU
分类号 H01L29/51;H01L21/316;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L29/51
代理机构 代理人
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