发明名称 SUBSTRATE ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101009643(B1) 申请公布日期 2011.01.19
申请号 KR20080069173 申请日期 2008.07.16
申请人 发明人
分类号 G02F1/13;C03C15/00;H01L21/306 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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