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发明名称
METHOD FOR FABRICATING SACRIFICE PATTERN
摘要
申请公布号
KR20090045711(A)
申请公布日期
2009.05.08
申请号
KR20070111662
申请日期
2007.11.02
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
KIM, TAI HO
分类号
H01L27/108;H01L21/8242
主分类号
H01L27/108
代理机构
代理人
主权项
地址
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