| 发明名称 | 陶瓷桨叶 | ||
| 摘要 | 在此提供了一种用于生产半导体晶片的桨叶。该浆叶可以是一种用陶瓷如碳化硅制造的悬臂桨叶、并且可以被用于圆形的或方形的晶片，如光伏晶片。这种桨叶呈现了优异的挠曲和强度特征。 | ||
| 申请公布号 | CN101952951A | 申请公布日期 | 2011.01.19 |
| 申请号 | CN200980104800.5 | 申请日期 | 2009.02.20 |
| 申请人 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 发明人 | S·A·卡伊姆菲;M·P·肯尼;K·A·德怀尔;P·张 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 顾敏 |
| 主权项 | 一种晶片桨叶，包括：一个柄；以及一个双壁负载区，该双壁负载区被构造并且被安排以支撑多个晶片，该负载区具有包括一个上壁和一个下壁的一个截面，其中该上壁限定了具有的深度是该负载区的高度的至少30％的一个通道。 | ||
| 地址 | 美国马塞诸塞州 | ||