| 发明名称 | 真空连续镀膜系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空连续镀膜系统，该真空连续镀膜系统包括掩膜板存储设备、真空镀膜机及掩膜板传输设备，所述掩膜板存储设备内存储若干掩膜板，所述掩膜板传输设备分别与所述掩膜板存储设备及所述真空镀膜机连通，所述掩膜板存储设备通过所述掩膜板传输设备为所述真空镀膜机提供镀膜用掩膜板并回收完成镀膜后的掩膜板，其中，还包括与所述掩膜板传输设备连通的掩膜板处理设备，所述掩膜板处理设备对完成镀膜后的掩膜板进行清洗或维修，并将清洗或维修完的所述掩膜板通过所述掩膜板传输设备送入所述掩膜板存储设备存储或真空镀膜机。使用本实用新型可在真空环境下进行连续装卸掩膜板。 | ||
| 申请公布号 | CN201713575U | 申请公布日期 | 2011.01.19 |
| 申请号 | CN201020210817.9 | 申请日期 | 2010.05.25 |
| 申请人 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 发明人 | 杨明生;刘惠森;范继良;王银果;王曼媛;王勇 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 张艳美;郝传鑫 |
| 主权项 | 一种真空连续镀膜系统，包括掩膜板存储设备、真空镀膜机及掩膜板传输设备，所述掩膜板存储设备内存储若干掩膜板，所述掩膜板传输设备分别与所述掩膜板存储设备及所述真空镀膜机连通，所述掩膜板存储设备通过所述掩膜板传输设备为所述真空镀膜机提供镀膜用掩膜板并回收完成镀膜后的掩膜板，其特征在于：还包括与所述掩膜板传输设备连通的掩膜板处理设备，所述掩膜板处理设备对完成镀膜后的掩膜板进行清洗或维修，并将清洗或维修完的掩膜板通过所述掩膜板传输设备送入所述掩膜板存储设备存储或真空镀膜机。 | ||
| 地址 | 523000 广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区 | ||