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发明名称 APPARATUS AND METHODS FOR HYPERBARIC RAPID THERMAL PROCESSING
摘要
申请公布号 KR20110005906(A) 申请公布日期 2011.01.19
申请号 KR20107027722 申请日期 2009.05.08
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 RANISH JOSEPH M.;SORABJI KHURSHED;LERNER ALEXANDER N.;HUNTER AARON M.
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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