发明名称 |
一种制备纳米尺度间隙金属电极对的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种制备纳米尺度间隙金属电极对的方法、属于纳米加工技术领域。该方法包括:首先制备一对微米尺度的金属电极对;在上述金属电极对上,引出两根金属丝,其中至少一根金属丝的材料应该采用金属活动顺序表中位于金属电极材料之前的金属;将电解液覆盖在上述电极对上,且同时覆盖在金属丝与电极对相连部分上,通过上述金属丝与电解液之间的化学反应,在单根或两根金属电极的表面析出金属,使相对金属电极之间的间距逐渐减小,从而获得纳米尺度间隙的电极对。本发明操作简单,工艺可靠、成本低。 |
申请公布号 |
CN101245470B |
申请公布日期 |
2011.01.19 |
申请号 |
CN200810102118.X |
申请日期 |
2008.03.18 |
申请人 |
北京大学 |
发明人 |
刘佳;傅云义;黄如;张兴 |
分类号 |
C25C1/00(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I |
主分类号 |
C25C1/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 |
代理人 |
贾晓玲 |
主权项 |
一种制备纳米尺度间隙金属电极对的方法,其步骤包括:1)制备一对金属电极对;2)在上述金属电极对上,引出两根金属丝,其中至少一根金属丝的材料应该采用金属活动顺序表中位于金属电极材料之前的金属;3)将电解液覆盖在上述电极对上,且同时覆盖在金属丝与电极对相连部分上,通过上述金属丝与电解液之间的化学反应,在单根或两根金属电极的表面析出金属,使相对金属电极之间的间距减小,从而获得纳米尺度间隙的电极对;所述方法不牺牲阳极或引入外加牺牲电极。 |
地址 |
100871 北京市海淀区颐和园路5号 |