MULTI-GRAY SCALE PHOTOMASK,申请号KR20097015136-传众专利搜索

发明名称	MULTI-GRAY SCALE PHOTOMASK
摘要
申请公布号	KR20110005761(A)	申请公布日期	2011.01.19
申请号	KR20097015136	申请日期	2009.06.23
申请人	HOYA CORPORATION	发明人	YOSHIDA KOICHIRO;KIMURA YU
分类号	G03F1/54;H01L21/027	主分类号	G03F1/54
代理机构		代理人
主权项
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