用于大气颗粒单颗粒分析的微束X射线荧光设备

摘要

基于“坪区”毛细管X射线会聚透镜的微束X射线分析设备，它包括X射线光源、针孔光阑、“坪区”毛细管X射线会聚透镜、样品、显微镜、探测器，本设备的核心部件是“坪区”毛细管X射线会聚透镜。由于“坪区”毛细管X射线会聚透镜微焦斑的“坪区”处X射线强度分布均匀度高，且具有较高的功率密度增益，所以该谱仪特别适用于对大气颗粒物等微小颗粒物进行单颗粒分析：快速获得元素特征峰相对强度与单颗粒在“坪区”中位置无关的能谱——单颗粒“指纹”谱。

主权项

一种用于大气颗粒单颗粒分析的微束X射线荧光设备，包括X射线光源、“坪区”毛细管X射线会聚透镜、针孔光阑、样品台、显微镜和探测器，其特征在于：所述“坪区”毛细管X射线会聚透镜是利用多毛细管将发散的X射线会聚为带有“坪区”的微焦斑，“坪区”处X射线强度分布均匀度高，且具有较高的功率密度增益；所述“坪区”毛细管X射线会聚透镜在X射线光源和针孔光阑之间；所述“坪区”毛细管X射线会聚透镜的入口端直径Din和出口端直径Dout比该“坪区”毛细管X射线会聚透镜最大截面的直径Dmax小；“坪区”毛细管X射线会聚透镜入口焦距f1和出口焦距f2可以相等也可以不等；透镜的长度l根据实验条件而定；构成所述“坪区”毛细管X射线会聚透镜的单毛细管的直径是不同的，中间单毛细管的直径大，外层单毛细管的直径小；所述“坪区”毛细管X射线会聚透镜的“坪区”大小在1‑60微米范围内，适用于对0.2‑40keV范围内X射线进行会聚，“坪区”处X射线强度分布均匀度在2％‑6％范围内，“坪区”处功率密度增益的数量级在102‑103范围内。