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发明名称 CERAMIC DOME STRUCTURE AND PLASMA PROCESSING APPARATUS WITH IT
摘要
申请公布号 KR101008680(B1) 申请公布日期 2011.01.17
申请号 KR20080118527 申请日期 2008.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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