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发明名称 ZUSAMMENSETZUNG ZUM ABZIEHEN UND REINIGEN UND DEREN VERWENDUNG
摘要
申请公布号 AT495546(T) 申请公布日期 2011.01.15
申请号 AT20050014089T 申请日期 2005.06.29
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 EGBE, MATTHEW I.;LEGENZA, MICHAEL;WIEDER, THOMAS;RIEKER, JENNIFER M.
分类号 H01L21/311;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/3213 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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