| 发明名称 |
MEHRZONENWIDERSTANDSHEIZUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT491825(T) |
申请公布日期 |
2011.01.15 |
| 申请号 |
AT20000963563T |
申请日期 |
2000.09.18 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
JOHNSON, WAYNE;STRANG, ERIC |
| 分类号 |
C23C16/46;H05B3/20;C23C16/458;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/683;H05B3/02;H05B3/10 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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