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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN EINES NANOKRISTALL-FLASH- SPEICHERBAUELEMENTES
摘要
申请公布号 AT495545(T) 申请公布日期 2011.01.15
申请号 AT20020256661T 申请日期 2002.09.25
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. 发明人 CHOI, WEE KIONG;CHIM, WAI KIN;NG, VIVIAN;CHAN, LAP
分类号 C23C14/58;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/423;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 C23C14/58
代理机构 代理人
主权项
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