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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOI-STRUKTUR
摘要
申请公布号 AT492510(T) 申请公布日期 2011.01.15
申请号 AT20050702532T 申请日期 2005.01.31
申请人 FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. 发明人 RENAUD, PHILIPPE;BERTRAND, ISABELLE
分类号 B81C1/00;C30B25/10;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/762 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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