化学蒸着システムにおける加熱均一性を向上させるための装備を備えたウェハキャリア

摘要

化学蒸着によって１つ以上のウェハ上にエピタキシャル層を成長させるためのシステムにおいて使用されるウェハキャリアおよびその製造方法。ウェハキャリアは、その本体内に凹んでいる複数のウェハ保持ポケットを備える。少なくとも１つのウェハ保持ポケット内には断熱スペーサが少なくとも部分的に配置されて周壁面とウェハとの間の間隔を維持しており、スペーサは、ウェハキャリアの熱伝導率よりも低い熱伝導率の材料で構成されることによりウェハキャリア本体の部分からウェハへの熱伝導を制限する。ウェハキャリアは、スペーサに係合するスペーサ保持フィーチャをさらに備えており、中心軸の周りを回転させられたときにスペーサの遠心運動を防止するように配向された面を有する。